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真空蒸着材料のご紹介

当研究所では主に光学薄膜形成用の真空蒸着材料の製造・販売を行っております。反射防止膜、光フィルタ、透明導電膜、保護膜等の形成用に各種材料を取り揃えています。無機材料の粉体焼結技術を生かし蒸着時のスプラッシュ、アウトガスの発生を抑えた製品です。

材料形状

ペレット

顆粒

顆粒(脱ガスタイプ)

ペレット(長尺タイプ)

アーチ

サイズ

ペレットタイプ=Φ18xT10mm, Φ20xT10mm, Φ25xT10mm, Φ40xT20mm, etc.
顆粒タイプ=1-3mm, 2-5mm, etc.
長尺タイプ、その他特殊形状（アーチ）

蒸着方法

電子ビーム（EB）、イオンビーム、抵抗加熱、レーザーアブレーションなど

真空蒸着材料 製品一覧

製品名(酸化物）
製品名(フッ化物）
製品名(硫化物）
製品名(窒化物）

真空蒸着材料 製品名(酸化物）

Al2O3 - 酸化アルミニウム-アルミナ

膜特性 材料特性
屈折率 1.63（＠550nm） 倫理密度 4.0g/cm3
使用波長域 0.2 ～ 8μm 融点 2046℃
蒸発方法 EB 沸点 2980℃

性質 - ○水溶性 ： 不溶　○耐薬品性(酸、アルカリ)：難溶

CeO2 - 酸化セリウム

膜特性 材料特性
屈折率 2.2（＠550nm） 倫理密度 7.3g/cm3
使用波長域 0.4 ～ 16μｍ 融点 1950℃
蒸発方法 EB
抵抗加熱		 沸点 -

性質 - ○水溶性 ：不溶　○耐薬品性(酸、アルカリ)：酸に難溶、HClに不溶、H2SO4,HNO3に可溶

Cr2O3 - 酸化クロム

膜特性 材料特性
屈折率 2.24-i0.07（＠700nm） 倫理密度 5.21g/cm3
使用波長域 1.2 ～ 10μｍ 融点 2435℃
蒸発方法 EB 沸点 4000℃

性質 - ○水溶性 ： 不溶　○耐薬品性(酸、アルカリ)：不溶

Fe2O3 - 酸化鉄

膜特性 材料特性
屈折率 3.0（＠550nm） 倫理密度 5.24g/cm3
使用波長域 0.8㎛~ 融点 1565℃
蒸発方法 EB
抵抗加熱		 沸点 -

性質 - ○水溶性 ：不溶　○耐薬品性：塩酸、硫酸に可溶

Ga2O3 - 酸化ガリウム

膜特性 材料特性
屈折率 1.45（＠550nm） 倫理密度 5.95g/cm3
使用波長域 - 融点 1900℃
蒸発方法 EB
抵抗加熱		 沸点 -

性質 - ○水溶性 ：不溶　○耐薬品性(酸、アルカリ)：不溶

HfO2 - 酸化ハフニウム－ハフニア

膜特性 材料特性
屈折率 1.95（＠550nm） 倫理密度 9.68g/cm3
使用波長域 0.23 ～ 12μｍ 融点 2758℃ ± 25℃
蒸発方法 EB 沸点 5400℃

性質 - ○水溶性 ： 不溶　○耐薬品性(酸、アルカリ)：不溶

I.T.O - In2O3＋SnO2

膜特性 材料特性
屈折率 2.06-i0.016(＠500nm) 倫理密度 -
使用波長域 0.4 ～ 1μｍ 融点 -
蒸発方法 EB 沸点 -

性質 - In2O3＝可溶（酸：非晶）、不溶（水（酸：結晶））三方晶系：850℃（揮発）SnO2＝融点：1630℃、沸点：1800～1900℃（昇華）可溶（KOH、NaOH）、不溶（水、王水）

MgO - 酸化マグネシウム－マグネシア

膜特性 材料特性
屈折率 1.74（＠550nm） 倫理密度 3.58g/cm3
使用波長域 0.23 ～ 9μｍ 融点 2800℃
蒸発方法 EB 沸点 3600℃

性質 - ○水溶性:－ ○耐薬品性(酸、アルカリ)：可溶

Nb2O5 - 五酸化ニオブ

膜特性 材料特性
屈折率 2.33(＠500nm) 倫理密度 4.47g/cm3
使用波長域 0.32 ～ 8μｍ 融点 1485℃
蒸発方法 EB 沸点 -

性質 - ○水溶性:不溶　○耐薬品性(酸、アルカリ)：フッ化水素酸、アルカリに可溶

NiO - 酸化ニッケル

膜特性 材料特性
屈折率 - 倫理密度 6.82g/cm3
使用波長域 - 融点 1955℃
蒸発方法 EB 沸点 -

性質 - ○水溶性 ： 不溶　○耐薬品性(酸、アルカリ)：塩酸に可溶

SiO - 一酸化ケイ素

膜特性 材料特性
屈折率 1.9（＠550nm） 倫理密度 2.24g/cm3
使用波長域 0.55~8㎛ 融点 1700℃以下
蒸発方法 EB
抵抗加熱		 沸点 -

性質 - ○水溶性 ： 不溶　○耐薬品性：塩酸、硫酸に可溶

SiO2 - 酸化珪素

膜特性 材料特性
屈折率 1.46(＠500nm) 倫理密度 2.20g/cm3
使用波長域 0.16～8μｍ 融点 1500℃
蒸発方法 EB 沸点 2230℃

性質 - ○水溶性:不溶、酸、アルカリに不溶

SnO2 - 酸化スズ

膜特性 材料特性
屈折率 2.0（＠550nm） 倫理密度 6.95g/cm3
使用波長域 0.4~1.5㎛ 融点 1565℃
蒸発方法 EB
抵抗加熱		 沸点 -

性質 - ○水溶性 ： 不溶　○耐薬品性：塩酸、硫酸に可溶

Ta2O5 - 五酸化タンタル

膜特性 材料特性
屈折率 2.16（＠550nm） 倫理密度 8.73g/cm3
使用波長域 0.35 ～ 10μｍ 融点 1872℃
蒸発方法 EB 沸点 -

性質 - ○水溶性:不溶　○耐薬品性(酸、アルカリ)：フッ化水素酸、アルカリに可溶

Ti3O5 - 五酸化チタン

膜特性 材料特性
屈折率 2.3 ～ 2.55（＠550nm） 倫理密度 -
使用波長域 0.35 ～ 12μｍ 融点 -
蒸発方法 EB 沸点 -

性質 - ○水溶性:不溶 ○耐薬品性(酸、アルカリ)：希硫酸・希塩酸に可溶

TiO - 一酸化チタン

膜特性 材料特性
屈折率 2.3 ～ 2.55（＠550nm） 倫理密度 4.93g/cm3
使用波長域 0.35 ～ 12μｍ 融点 1750℃
蒸発方法 EB 沸点 3000℃

性質 - ○水溶性 ：－　○耐薬品性(酸、アルカリ)：希硫酸・希塩酸に可溶

TiO2 - 二酸化チタン－チタニア

膜特性 材料特性
屈折率 2.3 ～ 2.55（＠550nm） 倫理密度 4.26g/cm3
使用波長域 0.35 ～ 12μｍ 融点 1850℃
蒸発方法 EB 沸点 3000℃

性質 - ○水溶性：不溶　○耐薬品性(酸、アルカリ)：硫酸、アルカリに可溶

WO3 - 酸化タングステン

膜特性 材料特性
屈折率 2.2（＠550nm） 倫理密度 7.15g/cm3
使用波長域 0.4μｍ ～ 融点 1473℃
蒸発方法 EB
抵抗加熱 		沸点 -

性質 - ○水溶性:不溶　○耐薬品性(酸、アルカリ)：アルカリ水溶液に可溶

Y2O3 - 酸化イットリウム－イットリア

膜特性 材料特性
屈折率 1.87（＠550nm） 倫理密度 5.03g/cm3
使用波長域 0.25 ～ 2μｍ 融点 2410℃
蒸発方法 EB 沸点 4300℃

性質 - ○水溶性 ： 不溶　○耐薬品性(酸、アルカリ)：酸に可溶、アルカリに不溶

Yb2O3 - 酸化イッテルビウム

膜特性 材料特性
屈折率 1.75（＠550nm） 倫理密度 9.2g/cm3
使用波長域 0.28㎛~ 融点 1127℃
蒸発方法 EB 沸点 1850℃

性質 - ○水溶性 ： 不溶

ZnO - 酸化亜鉛

膜特性 材料特性
屈折率 2.1（＠550nm） 倫理密度 5.47g/cm3
使用波長域 0.35 ～ 20μｍ 融点 1975℃
蒸発方法 EB 沸点 -

性質 - ○水溶性 ： 難溶　○耐薬品性(酸、アルカリ)：可溶

ZrO2 - 酸化ジルコニウム－ジルコニア

膜特性 材料特性
屈折率 2.05（＠550nm） 倫理密度 5.56g/cm3
使用波長域 0.3 ～ 8μｍ 融点 2677℃
蒸発方法 EB 沸点 4548℃

性質 - ○水溶性:不溶 ○耐薬品性(酸、アルカリ)：硫酸、フッ化水素酸に可溶

ZRT2 - ZrO2+TiO2

膜特性 材料特性
屈折率 2.10（＠550nm） 倫理密度 -
使用波長域 0.3 ～ 7μｍ 融点 -
蒸発方法 EB 沸点 -

性質 -

真空蒸着材料 製品名(フッ化物）

AlF3 - フッ化アルミニウム

膜特性 材料特性
屈折率 1.38（＠550nm） 倫理密度 2.88g/cm3
使用波長域 0.22 ～ 12μｍ 融点 1040℃
蒸発方法 EB
抵抗加熱		 沸点 1260℃（Sublimation）

性質 - ○水溶性 ： 可溶

BaF2 - フッ化バリウム

膜特性 材料特性
屈折率 1.48（＠550nm） 倫理密度 4.87g/cm3（20℃）
使用波長域 0.25~15㎛ 融点 1287℃
蒸発方法 EB
抵抗加熱		 沸点 1287℃

性質 - 水溶性：0.16g/100g 20℃

BaF2+YF3 - フッ化バリウム+フッ化イットリウム

膜特性 材料特性
屈折率 - 倫理密度 -
使用波長域 - 融点 -
蒸発方法 EB
抵抗加熱		 沸点 -

性質 -

CaF2 - フッ化カルシウム

膜特性 材料特性
屈折率 1.23～1.45（＠550nm） 倫理密度 3.18g/cm3
使用波長域 0.15 ～ 12μｍ 融点 1418℃
蒸発方法 抵抗加熱 沸点 2500℃

性質 - ○水溶性 ：水 18℃ 0.0016g/100g、難溶（希鉱酸）、不溶：酢酸

CeF3 - フッ化セリウム

膜特性 材料特性
屈折率 1.63（＠550nm） 倫理密度 5.8g/cm3
使用波長域 0.3 ～ 12μｍ 融点 1324℃
蒸発方法 EB
抵抗加熱		 沸点 1360℃

性質 - ○水溶性 ：○水溶性 ： 不溶　○耐薬品性(酸、アルカリ)：酸に難溶

GdF3 - フッ化ガドリニウム

膜特性 材料特性
屈折率 1.59（＠550nm） 倫理密度 -
使用波長域 0.28μｍ ～ 融点 1231℃
蒸発方法 抵抗加熱 沸点 2277℃

性質 - 不溶（水）

LaF3 - フッ化ランタン

膜特性 材料特性
屈折率 1.59（＠550nm） 倫理密度 5.9g/cm3
使用波長域 0.22 ～ 14μｍ 融点 1490℃
蒸発方法 EB
抵抗加熱		 沸点 2300℃

性質 - ○水溶性：不溶　○耐薬品性(酸、アルカリ)：酸に難溶

LiF - フッ化リチウム

膜特性 材料特性
屈折率 1.3（＠550nm） 倫理密度 2.64g/cm3
使用波長域 0.11 ～ 8μｍ 融点 842℃
蒸発方法 抵抗加熱 沸点 1680℃

性質 - ○水溶性 ：難溶　可溶：フッ化水素酸

MgF2 - フッ化マグネシウム

膜特性 材料特性
屈折率 1.38 ～ 1.4（＠550nm） 倫理密度 3.2g/cm3
使用波長域 0.13 ～ 10μｍ 融点 1248℃
蒸発方法 EB
抵抗加熱		 沸点 2260℃

性質 - ○水溶性 ： 難溶　可溶（NHO3）

NaF - フッ化ナトリウム

膜特性 材料特性
屈折率 1.34（＠550nm） 倫理密度 2.78g/cm3
使用波長域 0.13～15μｍ 融点 988℃
蒸発方法 抵抗加熱 沸点 1704℃

性質 - 可溶（水、フッ化水素酸）

NdF3 - フッ化ネオジム

膜特性 材料特性
屈折率 1.61（＠550nm） 倫理密度 6.5g/cm3
使用波長域 0.17 ～ 12μｍ 融点 1374℃
蒸発方法 EB
抵抗加熱		 沸点 2327℃

性質 -

SmF3 - フッ化サマリウム

膜特性 材料特性
屈折率 - 倫理密度 6.5g/cm3
使用波長域 - 融点 1306℃
蒸発方法 EB
抵抗加熱		 沸点 2427℃

性質 - 可溶（硫酸）、不溶（水）

YbF3 - フッ化イッテルビウム

膜特性 材料特性
屈折率 1.5（＠550nm） 倫理密度 8.2g/cm3
使用波長域 0.22～12μｍ 融点 1157℃
蒸発方法 EB
抵抗加熱		 沸点 2230℃

性質 -

YF3 - フッ化イットリウム

膜特性 材料特性
屈折率 1.5（＠550nm） 倫理密度 5.07g/cm3
使用波長域 0.2～14μｍ 融点 1152℃
蒸発方法 EB
抵抗加熱		 沸点 2230℃

性質 - 不溶（水）、分解（濃酸）

真空蒸着材料 製品名(硫化物）

ZnS - 硫化亜鉛

膜特性 材料特性
屈折率 2.35（＠550nm） 倫理密度 4.06g/cm3
使用波長域 0.38~14㎛ 融点 1850℃
蒸発方法 EB
抵抗加熱		 沸点 -

性質 - ○水溶性：不溶

真空蒸着材料 製品名(窒化物）

AlN - チッ化アルミニウム

膜特性 材料特性
屈折率 1.9-2.2（＠630nm） 倫理密度 3.25g/cm3
使用波長域 0.3㎛~IR 融点 3000℃
蒸発方法 EB 沸点 -

性質 - ○水溶性：水と反応（アンモニアを生じる）

Si3N4 - チッ化ケイ素

膜特性 材料特性
屈折率 1.72（＠1,500nm） 倫理密度 3.18g/cm3
使用波長域 0.25~9㎛ 融点 -
蒸発方法 EB 沸点 -

性質 - ○水溶性：不溶

TiN - チッ化チタン

膜特性 材料特性
屈折率 1.39-i2.84（＠650nm） 倫理密度 5.44g/cm3
使用波長域 - 融点 2980℃
蒸発方法 EB 沸点 -

性質 - ○水溶性：不溶

参考文献：李 正中著 ㈱アルバック訳、 光学薄膜と成膜技術、 アグネ技術センター、 2005

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