当研究所では蒸着材料メーカーとして、自社内に保有の蒸着装置を用いて様々な材料の蒸着実験を繰り返しおこなっています。
その成膜技術を生かして、受託成膜加工のご依頼にもお応えしております。 量産ではないが成膜加工ができないか？ この素材に成膜できないか？ などお気軽にお問い合わせください。
真空蒸着装置
| 装置形式 | シンクロン ＢＭＣ800 |
|---|---|
| 方式 | ＥＢ（電子ビーム）蒸着、抵抗加熱蒸着×2 |
| 排気系 | ドライポンプ、クライオポンプ×2 |
| 可能な成膜 | 単層膜、多層膜 |
| 対象材料 | 金属、金属酸化物、金属フッ化物、その他化合物 |
| 成膜可能な基板種類 | ガラス、金属、セラミックス |
| 成膜可能な基板サイズ | φ30mm、φ50mm、φ75mm、φ100mm、φ200mm、φ300mm、□10～200mmx10～250mm |
※マスク蒸着も可能です。ご要望に応じメタルマスクを製作いたします。
成膜加工はクリーンブース内での一貫作業
蒸着に至るまでの装置内への基板セッティングから取出し、梱包までの作業は全てクリーンブース（クラス1000）内にて専任技術者が行います。オールクリーンな排気系により、デバイス用の蒸着にも対応可能です。
常に安定した環境下での作業により、継続した実験試作の成膜案件をご依頼いただいた場合でも環境変化による品質への悪影響のご心配はいりません。
成膜加工費用の目安
- 加工する時間、日数により算出いたします。
- 膜厚測定は含みます。
- 材料費は含みます（特殊材料、希少金属は除く）。
- 元素分析、SEM観察などは別途となります。
- 成膜用として原料ご支給による蒸着材料の製作もお受けしております。
成膜基板＆4インチ基板ホルダー
小サイズ基板保持ホルダー類
マスク蒸着一例
ウエハへのマスク蒸着例